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飞秒激光超微细加工装置
日期:2012/2/27                浏览次数:4357

  

易损坏生物材料、透明材料、薄膜的超精密微细加工
 
本系统最大限度地发挥了飞秒激光的特长及加工优点,能够对各种不同材料进行超精密微细加工。最近数年、作为光子工艺技术的应用、期待产生一种对易损坏生物材料的周围组织和细胞不产生损伤的新生物分子飞秒激光手术。
 
特点
       ● 对各种不同材料能进行极力减少热影响的自由自在微细加工 
       ● 超过利用多光子吸收实现的衍射极限的加工分辨率
       ● 能同时直接观察显微镜像和进行加工形状的制作
       ● 共聚焦光学系统构成的高精度自动聚焦
       ● 飞秒激光器以外的各种激光器也可以使用
 
用途
        ● 玻璃内部的三维光导波路的制作 
        ● 硅、蓝宝石玻璃衬底的划痕加工
        ● 金属/半导体薄膜的打孔、切断消除加工
        ● 高分子材料的打孔、切断加工
        ● 易损坏生物材料的隔离、刺激、捕捉等
 
技术规格 (标准装置)

加工光源

种类

固体激光

光纤激光

激发波长

800nm / 1030nm

1064nm

脉冲能量    

3.5mJ@1kHz /1mJ@1kHz

1μJ@1MHz

重复频率

单一发射10kHz / 单一发射10kHz

单一发射~1MHz

脉冲宽度

100fs /300fs

500fs

使用平台

步进马达平台

XY:加工范围±25mm,分辨率2μm,最大移动量16mm/s

Z:0-20mm,分辨率1μm,最大移动量5mm/s

电镜

XY:加工范围±50μm(1),最大移动量100mm/s(1)

压电陶瓷平台

XY:加工范围0-350μm, 分辨率1nm

Z:移动量0-250μm, 分辨率1nm

样品台

吸附台方式(2)

自动聚焦机构

共聚焦光学系统

扫描范围:±>10μm  分辨率:>0.1μm(3σ)(1)

光学单元

激光能量/偏振光控制,导向激光

照射单元

显微镜基座, 照射光学系统, XYZ轴平台, 样品台, 监视光学系统

控制单元

控制器,控制软件

光学防振台

三维空气弹簧式防振台, 尺寸:2000×1200×800(mm)

尺寸 (mm)

加工机主体

2400×1500×1800

控制台

570×800×1000 (19英寸架台)

电源

加工机

100VAC  20A

激光

100VAC  40A / 100VAC  20A

100VAC  3A

(1)使用100倍物透镜时        (2)选择步进马达平台时的标准配件
*本系统是受日本科学技术振兴机构(JST)的独创研究成果育成事业部委托开发的产品

 详细内容,请点击下载PDF(英文)

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